CCTV视频:7nm芯片刻蚀机制造工艺中所用的陶瓷涂层技术

       本视频介绍中微半导体设备(上海)有限公司董事长尹志尧团队研发的7nm芯片刻蚀机生产工艺中所用的陶瓷涂层技术。注:本视频引自于CCTV2,特此说明。

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